如何防止涡轮分子泵返油

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　　为防止涡轮分子泵本身以及前级泵的油蒸气进入涡轮分子泵的高真空端。

　　开机前先用前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。停机时，从它的入口端漏入空气达到5托的压强，待涡轮分子泵停止转动后再关闭它的出口阀门和机械泵，同时令涡轮分子泵内的压强上升至大气压以减少轴承滑润油的反扩散。或者是涡轮分子泵与前级泵同时停机，关闭它们中间的阀门，待涡轮分子泵停止转动后，从高真空端(或从泵的中部)漏入空气至大气压。

　　在涡轮分子泵运行中，不要在关闭它的出口阀的情况下漏入气体使泵内压强突然上升至10托以上。否则气体将被压至出口端，因没有出路而反射，一部分进入轴承滑润部分把油卷出带到泵内并进入高真空端造成严重返油。

　　在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸气的返流。

　　立式涡轮分子泵的真空系统的结构简单，在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构的特点;其次是泵内只有一组涡轮叶片，因而价格较低廉。

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