

影响油扩散泵真空系统极限压强的因素:
1.油蒸气压强。
2.器壁放气。
3.从扩散泵出ii端和蒸气流中反扩散回到高真空的气体。
4.回流工作液在低真空部分吸气后在高真空喷头所属油锅区域内重新放出的气体。
如果扩散泵设计合理,同时高真空部分经仔细的烘烤去气,则极限压强将主要由油蒸气压和反扩散两部分组成。因此,为了获得良好的真空度,必须同样小心滴选择扩散泵和工作液。
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