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扩散真空泵的分类

  扩散泵的工作原理与机械泵不同,它是利用高速运动的蒸汽流带走气体的。
  扩散泵广泛地应用于电子工业,原子能工业和冶金工业中,我国生产的扩散泵种类很多,其分类方法如下:
  1.按工作液不同分为:汞扩散泵,油扩散泵和石蜡扩散泵。
  2.按工作位置分为:立式和卧式泵。
  3.按泵的材料分为:金属扩散泵和玻璃扩散泵。
  4.按喷嘴级数分为:单级、二级和多级泵。
 

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